Hiina pooljuhtide tööstuse arenguga on protsessiseadmete põhikomponentide arendamine muutunud seadmete arendamisel kriitiliseks piiranguks. Kuna kodumaise pooljuhttehnoloogia lokaliseerimise üleskutse tugevneb, ületatakse üha rohkem pooljuhtide tööstuse kitsaskohti. Tuginedes aastatepikkusele kogemusele pooljuhtide valdkonnas, on meie ettevõte välja töötanud õõnesvõlliga-kiire-servomootori pooljuhtide katmis-, arendus- ja puhastusseadmete vahvlite adsorbeerimiseks. Sellel mootoril on suur kiirendus, lai kiirusvahemik ja kõrge reageerimisvõime ning tööstuse kliendid on seda laialdaselt kiitnud.
Õõnesvõlli-servomootori rakendused:
Säritus- ja ilmutusseadmed (katmine, ilmutamine): peamised seadmed fotolitograafia protsesside jaoks, katmise, särituse ja ilmutamise juhtimiseks.
Puhastus-, katmis-, ilmutus- ja kileeemaldusseadmed.
Sobib füüsiliseks loputuspuhastuseks, osakeste puhastamiseks ja pihustusprotsessideks.
Õõnesvõlliga servomootori toote spetsifikatsioonid ja kasutusvaldkonnad:
750W/1000W – 5000, 6000 p/min
Kasutusalad (tipp{0}}mudelid):
8- ja 12-tollised pooljuhtseadmed.
Sellised protsessid nagu katmine, arendamine, puhastamine ja söövitamine.
Maksimaalne kiirendus võib ulatuda 50 000 R/S² hetkekiirenduseni.
Spetsiaalne võlli otsa konstruktsioon tagab madalaima võlli otsa koormuse läbilöögikoefitsiendi.
